SJ6000高精度激光干涉儀測量系統(tǒng)集光,、機,、電、計算機等技術(shù)于一體,，采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),，可實現(xiàn)高精度、抗擾力強,、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,。儀器具有測量精度高、測量范圍大,、測量速度快,、高測速下分辨高等優(yōu)點，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,，可實現(xiàn)線性測長,、角度、直線度,、垂直度,、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量,。

在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,，以及進行位移,、速度、加速度,、振幅與頻率的動態(tài)分析,，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析,、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件,。主要鏡組如下圖所列,，依次為線性鏡組、角度鏡組,、直線度鏡組,、垂直度鏡組、平面度鏡組,、自動精密轉(zhuǎn)臺,。

主要鏡組圖

其中,，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡,、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成,。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度,、重復(fù)定位精度,、反向間隙的測量與分析,，以及反向間隙修正和螺距補償,。

線性測量應(yīng)用

SJ6000激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機床、三坐標(biāo),、機器人,、3D打印設(shè)備、自動化設(shè)備,、線性位移平臺,、精密機械設(shè)備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量,。

SJ6000高精度激光干涉儀測量系統(tǒng)架設(shè)靈活,，對各種復(fù)雜結(jié)構(gòu)的機床、平臺和導(dǎo)軌都具有廣泛適用性,，測量快速簡便,，減少重復(fù)定位測量的時間，同時得到精確直觀的檢測數(shù)據(jù),。

產(chǎn)品功能

（1）可實現(xiàn)線性,、角度、直線度,、垂直度,、平行度、平面度,、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量,；

（2）可檢測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度,、重復(fù)定位精度等,，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角,、直線度,、垂直度等,；

（3）可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

（5）具有動態(tài)測量與分析功能,，包括位移分析、速度分析、加速度分析,、振幅和頻率分析等，可進行振動分析,、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析,、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

（6）支持手動或自動進行環(huán)境補償,。

測量軟件

（1）友好的人機界面,；

（2）豐富的應(yīng)用功能模塊；

（3）向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>

（4）簡潔化的記錄管理,；

（5）支持中文,、英文和俄文界面；

（6）支持企業(yè)專屬模板定制,。

部分技術(shù)規(guī)格

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍,，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,，恕不另行通知,，不便之處敬請諒解。

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